高灵敏度气体检测仪

　　内蒙古光能科技有限公司

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　　为深入贯彻“科技兴蒙”行动，有力落实“科技新政30条”，助力我市高新技术企业发展，推进产品转型升级，帮助首台（套）技术装备及关键核心零部件生产的高新技术企业及新落地、新投产项目找订单拓渠道，进一步加强企地融合，培育壮大经济发展新动能，现推出“我为高新技术企业成果产品找订单”活动。本期推介“高灵敏度气体检测仪”先进制造与自动化领域高新技术企业—内蒙古光能科技有限公司。

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　　【项目名称】高灵敏度气体检测仪

　　【所属领域】先进制造与自动化

　　【企业名称】内蒙古光能科技有限公司

　　【联系方式】13789770410

　　【产品特色】

　　产品的核心技术是光腔衰荡光谱法，仪器的监测精度可达到1×10-9以上，仪器应用于半导体、氢能领域、环保、气象监测等领域，主要用于气体中痕量元素的检测。该技术国际领先，填补了国内空白。产品推出后成功打入国际市场，不再依赖进口。目前该产品已应用于华为、法液空、空气化工、中芯国际等企业。

　　【产品图片】

　　图1 高灵敏度气体分析仪

　　图2 仪器的硬件电路板

 

　　图3 软件控制主界面

　　图4 光腔及支撑件

　　【与国外同类技术产品对比情况】

　　技术对比情况：相当

　　价格对比情况：低于

　　国外技术产品厂家及名称：美国虎威光学（TIGER OPTICS）公司

　　【技术指标】

　　1、检测精度0.2×10-9

　　2、背景气体：氮气、氦气、氩气、氧气、氢气等。

　　3、检测下限小于1.0×10-9。

　　4、响应速度：T90小于60秒。

　　【参考价格】

　　20万元-40万元